半導体関連システム

半導体関連システム

ウエハー精密加工からベアICの微細接合まで、高品質に実現する「設備」「プロセス」と関連する「材料」「ソフトウエア」

ダイボンダー

MD-P200

_{ダイボンダー}
MD-P200

プラズマクリーナー

AM100

_{プラズマクリーナー}
PSX307

VMシリーズ

_{プラズマクリーナー}
PSX307A

プラズマダイサー

SPV

_{プラズマダイサー}
APX300（ダイサーモジュール）

フリップチップボンダー

LPS-C

_{フリップチップボンダー}
MD-P300

LPS-C

_{フリップチップボンダー}
MD-P200US2

ドライエッチャー

SPV

_{ドライエッチャー}
APX300

SPV-DC

_{ドライエッチャー}
APX300（Sオプション）

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