パナソニック製半導体関連システムの強み

お客様の実証段階から量産段階までをトータルサポート

半導体製造工程において、それぞれのプロセスごとに当社実証センターでプロセス実証を行い、お客様をフルサポートして参ります。

パナソニックのご提案

お客様の実証段階から量産段階までをトータルサポート

製品一覧

工程別一覧表

半導体関連システムにおける工程ごとに製品をご紹介します


半導体関連システム工程別一覧表

ダイボンダー・フリップチップボンダー

MD-Pシリーズは、デバイス・モジュールの小型化・高機能化を実現する高性能ボンダーです。
ボンディング工程において、様々なデバイスに対応し、高品質実装で歩留向上に貢献。


ダイボンダー MD-P200

ダイボンダー
MD-P200

最先端デバイス組立の様々な実装プロセスに対応可能なボンディング装置。

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フリップチップボンダー  MD-P300

フリップチップボンダー
MD-P300

Φ300 mmウエハ供給に対応。COW実装も可能な高速高精度フリップチップボンダー。

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フリップチップボンダー MD-P200US2

フリップチップボンダー
MD-P200US2

超音波フリップチップ専用機。独自USツールを使用し、安定した品質を実現。

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ドライエッチャー

APX300は、高速・高精度加工可能なバッチ式ドライエッチング装置です。
量産実績に基づく豊富なプロセス技術で、デバイス(LED,SAW-F,MEMSなど)の開発・生産に貢献​。


ドライエッチャー APX300

ドライエッチャー
APX300

装置構成のワンボックス化で、面積生産性の向上に貢献。

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ドライエッチャー APX300(Sオプション)

ドライエッチャー
APX300(Sオプション)

豊富な実績を積んだE620のプロセスチャンバーを、最新のAPX300プラットフォームに搭載。

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プラズマクリーナー

PSX307シリーズは、基板のクリーニング・表面改質を目的とした自動搬送用平行平板型プラズマクリーナーです。パッケージング工程における密着性・接合性向上により、通信・車載デバイス等の高品質モノづくりに貢献。


プラズマクリーナー PSX307

プラズマクリーナー
PSX307/PSX307-HSA

ローダー・アンローダー付き、基板仕様。

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プラズマクリーナー PSX307A

プラズマクリーナー
PSX307A

大型チャンバー搭載、基板仕様・ウェハ仕様選択可能。

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プラズマダイサー

APX300-DMは、高速・高精度加工可能なプラズマダイシング装置です。
ダメージ・パーティクルフリー、狭幅加工を実現し、加工品質・生産性の向上に貢献。


プラズマダイサー APX300-DM

プラズマダイサー
APX300-DM

次世代工法プラズマダイシング技術により、ダメージレスで、チップ取数アップ・生産性アップを実現。

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パナソニックの半導体関連システムの特長

ボンダー

MD-Pシリーズでは、お客様の様々なデバイスに対応できるよう、実装精度と実装形態に合わせて最適な設備をラインアップ。FOWLPに対応したMD-P300シリーズやパナソニック独自の超音波技術を取り入れたMD-P200シリーズで小型化するパッケージ生産に貢献。

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ボンダー

ドライエッチャー

APX300では、高密度・高均一・大面積のプラズマを生成、SAW-F、パワーデバイス、LED,MEMSなどのデバイス生産に貢献。また、マルチESC電極により各基板をダイレクト吸着が可能となり、高冷却効率・高再現性を実現。

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ドライエッチャー

プラズマクリーナー

PSX307シリーズでは、パナソニック独自のプラズマ技術により、ワイヤーボンディング、フリップチップボンディングの接合性向上やモールド、アンダーフィルの濡れ性向上など対象物の表面改質の効果が期待でき、高品質なパッケージングに貢献。

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プラズマクリーナー

プラズマダイサー

APX300-PDでは、従来のブレード工法などと比べ高い生産性を維持しながら、ダメージレス・チッピングフリーの加工を実現。パーティクルレスかつ様々なチップ形状,レイアウトに対応することができ、先端パッケージの生産に貢献。

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プラズマダイサー

電子材料紹介

ボンダー用誘電性接着剤や絶縁性接着剤をご紹介いたします。

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実装用電子材料

展示会・セミナー情報

半導体関連システム 展示会・セミナーの紹介

開催中のセミナーや展示会情報をまとめて掲載しています。また、過去のセミナーや展示会情報も掲載しています。

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カスタムサービス

実装工場オペレーション&メンテナンス ソリューション

メンテナンスソリューション

実装設備を納入後も末永く安心してご使用いただくため、設備の保守だけでなく、生産ロス改善や稼働安定化、作業効率の向上など、お客様設備の一生涯に寄り添い続けます。

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門真実証センター

実装センター

ドライエッチング/プラズマダイシング/プラズマクリーニング/ダイボンディング/フリップチップボンディング

  • 実証
  • デモ

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ライブラリー

ビデオライブラリー

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製品紹介ビデオ、事業内容紹介ビデオなどを一覧できます。
新作映像も随時追加していきますので、ぜひご覧ください。

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技術特集


レッツノートの生産を支える実装機と独自システム

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パナソニックのサステナブルな未来像

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