ドライエッチャー APX300

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ドライエッチャー APX300の特長

APX300

訴求ポイント

  • LED薄膜の高速加工で、エッチング工程の高生産性に貢献します
  • LED基板表面を、台形、円錐等の形状にエッチング可能です
  • 装置構成のワンボックス化で、面積生産性の向上に貢献します

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