プラズマダイサー APX300(ダイサーモジュール)

製品カタログダウンロード

プラズマダイサー APX300(ダイサーモジュール)の特長

APX300(ダイサーモジュール)

訴求ポイント

  • ウエハ全面をダメージレスで一括ダイシングし、強度の高いチップ分割を実現します。
  • パナソニック独自のプロセスで、様々な種類の半導体ウエハのダイシングが可能です。
  • 生産量に応じて、シングルチャンバーシステムからマルチチャンバーシステムへ展開が可能です。

APX300(ダイサーモジュール)カタログダウンロード

お問い合わせ

ご相談窓口
各種ご相談は、下記までお問い合わせください。
受付時間 9:00~17:00(土日、祝日、年末年始、弊社所定の休日を除く)