ドライエッチング装置 APX300(Sオプション)

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ドライエッチング装置 APX300(Sオプション)の特長

APX300(Sオプション)

訴求ポイント

φ8インチまでのウエハを枚葉で加工

豊富な実績を積んだE620のプロセスチャンバーを、最新のAPX300プラットフォームに搭載、磨き抜かれたプロセスライブラリーをそのままご利用になれます。

高精度加工用のマルチスパイラルコイル方式ICPプラズマ源”MSC-ICP”に加え、より高電子密度を実現した高速加工用のプラズマ源”BM-ICP”をラインアップ、幅広い加工ニーズにお応えします。

大気搬送ユニットへのウエハ供給に加え、真空ロードロック供給にも対応しました。

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APX300(Sオプション)技術資料

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