プラズマクリーナー PSX307A

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プラズマクリーナー PSX307Aの特長

PSX307A

訴求ポイント

基板レベル、ウエハレベルPKGに対応

  • 基板やウエハの表面をプラズマにより洗浄・改質し、金属接合性、樹脂密着性を改善
  • 真空チャンバーの大型化により同時処理可能な基板枚数が増え、生産性が向上
  • 独自のプラズマモニター機能でプラズマ安定性をリアルタイムモニターし、異常放電による基板ダメージを回避
  • トレーサビリティ機能を新たに備え、工程品質保証へのお役立ちが可能
  • 多様化する生産形態にフレキシブルに対応し、工程運営をより柔軟にサポート
  • φ300mmウエハ(リング付き/無し)に対応し、ウエハレベルPKGのモノづくりに貢献

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