パナソニック製計測・測定システムの強み

世界最高水準の三次元測定機「UA3P」は多くの分野で適応が可能です。

  1. 超高精度な測定 (シングルナノ再現性を実現)
  2. 接触測定による絶対形状評価 (回転対称非球面・自由曲面)
  3. 複雑形状に対応する柔軟なNCパス
  4. 測定データから様々な解析を実現 (ex. Zerinike解析)
  5. 面間・外形偏心評価も可能 (ex. 非球面・自由曲面・ウェハレンズ)
  6. 複雑形状でも表面粗さ測定可能
  7. 設計式がなくても測定評価可能
  8. CADデータでの評価
  9. 自動測定による作業平準化・省人化
各種測定機の測定精度・適応分野

製品一覧

高精度な計測・測定技術でものづくりをバックアップ


超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ

超高精度三次元測定機

非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01 μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応。

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計測システム(国内限定)

計測システム(国内限定)

研究開発から製造まで各種用途に合わせたシステム構築が可能。

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パナソニックの計測・測定システムの特長

座標測定技術

測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面(ミラー)で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3 nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。

  • 座標軸による測定誤差:0.05 μm以内(~100 mm)、0.3 μm以内(~500 mm)
座標測定技術

測定プローブ

超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。

  • 測定力:0.15~0.30 mN(15~30 mgf)※UA3P-3100/4000は0.05~0.30 mN、UA3P-5000Hは0.10~0.30 mN
  • スタイラス:先端角30度、r=2μmダイヤスタイラス使用可能
測定プローブ

コア・ソフトウェア技術

簡単な操作で高精度な測定を実現。あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。

簡単な操作で高精度な測定を実現

展示会・セミナー情報

展示会・セミナーの紹介

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