超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの訴求ポイント

超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ

『測定できないモノは作れない』UA3Pは、さまざまな微細形状測定でナノ精度モノづくりをサポート

スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティー、光通信、車載用HUDなどに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応します。


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超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの測定範囲

各種測定機の測定精度・適応分野


測定精度・適応分野

傾斜角70度で±0.10μmの超高精度測定から□500mmの大型部品測定までフルラインアップ


機種別測定エリア/精度


グラフ

 側面のみの機種(UA3P-L)も別途あり。


測定対象


モバイルレンズ レンズ用バレル DSLRレンズ
fθレンズ X線望遠ミラー レンズ金型
カメラ用レンズ トーリックレンズ金型 ステッパーレンズ

UA3P-Lの領域

超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの特長

超高精度測定を実現するテクノロジー


座標測定技術

測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面(ミラー)で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。

  • 座標軸による測定誤差
    0.05μm以内(~100mm)
    0.3μm以内(~500mm)
座標測定技術

上面測定プローブ/AFP

超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。

  • 測定力:0.15~0.30mN(15~30mgf)
    ※UA3P-3000は0.10~0.20mN
  • スタイラス:先端角30度、r=2μmダイヤスタイラス使用可能
上面測定プローブ/AFP

側面測定プローブ/ S-AFP

高精度に検出されたプローブミラーの傾きをXYステージにフィードバックし、低接触力(0.3mN)のスキャン測定が可能です。
レンズ鏡筒(バレル)などの樹脂製品で変形無く測定が可能です。

  • 測定力:0.3mN(30mgf)
  • 測定精度:±0.15μm(90°傾斜測定時)
  • 測定最大角度
    水平方向測定時45°~90°(水平面に対する角度)
    垂直方向測定時80°~90°(水平面に対する角度)
側面測定プローブ/ S-AFP

ソフトウェア

ソフトウェア

簡単な操作で、高速・高精度な測定を実現
あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。


上側面評価技術

上面測定データと側面測定データを合成し、側面基準でレンズや金型の光軸の偏心、傾きが評価可能

上側面評価技術

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